開發者 opensecs.sf.net

FREESECS 是半 SECS 標準的開源專案。該軟體是用GNU自動工具/GCC編譯的，在Linux作業系統上運行。 FREESECS包括HSMS-SS（SEMI E37.1）、SECSII（SEMI E5）、300mm和介面A（計畫）。http://opensecs.sourceforge.n。