FREESECS 是半 SECS 標準的開源專案。該軟體是用GNU自動工具/GCC編譯的，在Linux作業系統上運行。 FREESECS包括HSMS-SS（SEMI E37.1）、SECSII（SEMI E5）、300mm和介面A（計畫）。http://opensecs.sourceforge.n。
版本歷史記錄
- 版本 files 發佈於 2010-06-06
若干修復和更新 - 版本 N/A 發佈於 2010-06-06
軟體細節
- 軟體分類： 網路與互聯網 > 其他
- 發佈者： opensecs.sf.net
- 軟體性質： 免費
- 價格： N/A
- 版本： Array
- 作業系統： linux