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FreeDATA

軟體性質： 免費 ‎檔案大小： N/A
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微光刻數據分析包能夠擬合博松型數據集，也稱為對焦暴露矩陣。 關鍵詞： 光刻， 光刻畫， 光刻畫， 製程視窗， 關鍵尺寸， CD， 博松， FEM

版本歷史記錄

  • 版本 N/A 發佈於 2011-08-11
    若干修復和更新
  • 版本 N/A 發佈於 2011-08-11

軟體細節

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