FreeDATA

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關於 FreeDATA

微光刻數據分析包能夠擬合博松型數據集,也稱為對焦暴露矩陣。 關鍵詞: 光刻, 光刻畫, 光刻畫, 製程視窗, 關鍵尺寸, CD, 博松, FEM